- 1
- 2
歐洲進(jìn)口工業(yè)設(shè)備
五金工具建材
機(jī)械
滲透膜伸縮片設(shè)備變速箱儲(chǔ)能器攪拌器均質(zhì)機(jī)束帶綁扎機(jī)摩托備件油霧探頭機(jī)器人卡盤撇油器磨床打包機(jī)制動(dòng)器封口機(jī)馬弗爐工業(yè)爐高溫爐叉車挖掘機(jī)快換系統(tǒng)起重機(jī)卷簧機(jī)工控振動(dòng)器渦輪機(jī)傳動(dòng)攪拌發(fā)動(dòng)機(jī)風(fēng)扇絲桿聯(lián)軸器風(fēng)機(jī)換熱器清洗驅(qū)動(dòng)器干燥器軸承馬達(dá)氣缸纏繞機(jī)執(zhí)行加熱器膨脹罐減速機(jī)控制器模塊電磁吸盤真空包裝機(jī)油缸過濾器壓縮機(jī)機(jī)床切割機(jī)噴砂張緊器輸送機(jī)制氧機(jī)離合器吸塵器增壓分離液壓制動(dòng)上料輸送柱塞泵閥儀表
儀器儀表
模擬盒藥物測(cè)試安全表校準(zhǔn)器組合式測(cè)試設(shè)備控制系統(tǒng)硬度計(jì)熱交換器掃描器沾污儀紫光源混合器萬(wàn)用表百分表風(fēng)速儀分度盤放大器六分儀熱像儀拐檔表數(shù)顯表檢測(cè)儀木材測(cè)濕儀電子秤靜電消除器真空計(jì)壓力表進(jìn)樣器移液器剩磁探測(cè)測(cè)試儀擺動(dòng)缸濾芯測(cè)力計(jì)打標(biāo)機(jī)試驗(yàn)機(jī)混合機(jī)平衡器溫控器壓力氣壓張力能量計(jì)報(bào)警器測(cè)距儀定位器熒光儀編碼器注射器打印機(jī)液位計(jì)折光儀流量計(jì)感應(yīng)機(jī)探測(cè)器檢測(cè)器超聲波發(fā)生器濕度計(jì)傳感器聯(lián)軸器烘烤設(shè)備檢漏儀制冷機(jī)輻射測(cè)溫傳輸探頭光譜儀射線干燥器發(fā)射器指南針印刷設(shè)備操作面板顯示器粘度計(jì)量塊調(diào)節(jié)器采樣記錄儀油位計(jì)料位計(jì)冷卻分析溫度計(jì)壓差測(cè)量發(fā)生器電子電工
壓力開關(guān)
實(shí)驗(yàn)室設(shè)備
| Lumatec液芯光纖：賦能Primelite ALE/1光源，重塑半導(dǎo)體制造新標(biāo)準(zhǔn) |
| 點(diǎn)擊次數(shù)：452 更新時(shí)間：2025-09-26 |
Lumatec液芯光纖：賦能Primelite ALE/1光源，重塑半導(dǎo)體制造紫外光傳輸新標(biāo)準(zhǔn)在半導(dǎo)體制造這一追求精度與可靠性的領(lǐng)域，每一個(gè)技術(shù)組件的性能都直接影響著最終的良率與產(chǎn)能。Primelite ALE/1 UV-LED光源作為新一代的曝光能量解決方案，已廣泛應(yīng)用于晶圓邊緣曝光、光掩膜檢測(cè)及先進(jìn)封裝光刻等關(guān)鍵工藝。而在這套高性能光源系統(tǒng)的核心，有一條至關(guān)重要的“能量動(dòng)脈"——Lumatec液芯光纖。它并非簡(jiǎn)單的光傳輸介質(zhì)，而是決定整個(gè)系統(tǒng)性能上限的關(guān)鍵賦能者。本文將深入探討Lumatec液芯光纖如何以其革命性的技術(shù)，全面釋放Primelite ALE/1光源的潛能。 一、 挑戰(zhàn)：傳統(tǒng)光傳輸方案的瓶頸在液芯光纖技術(shù)成熟之前，高功率紫外光的傳輸主要依賴熔融石英光纖。然而，在半導(dǎo)體制造的嚴(yán)苛要求下，石英光纖暴露出諸多固有瓶頸： 紫外吸收與衰減：熔融石英材料對(duì)紫外光（特別是365nm i-line）有本征吸收，導(dǎo)致傳輸損耗較大，難以高效輸送高功率光能。 熱管理難題：高功率紫外光照射會(huì)導(dǎo)致石英光纖局部過熱，引發(fā)暗化效應(yīng)（Solarization），即光纖透光率隨時(shí)間衰退，性能不穩(wěn)定，壽命有限。 光束質(zhì)量不均：輸出光斑常存在干涉條紋或“熱點(diǎn)"，能量分布均勻性不佳，影響曝光或檢測(cè)的均勻性。 脆性與彎曲損耗：石英光纖彎曲半徑受限，過彎時(shí)易折斷或產(chǎn)生顯著的傳輸損耗，在設(shè)備空間布局中缺乏靈活性。 這些瓶頸嚴(yán)重制約了高性能UV-LED光源在半導(dǎo)體應(yīng)用中的表現(xiàn)。 二、 解決方案：Lumatec液芯光纖的革命性設(shè)計(jì)Lumatec液芯光纖采用了一種設(shè)計(jì)理念：以高純度、高透光率的液態(tài)光學(xué)材料作為纖芯，填充于特制的柔性氟聚合物包層管內(nèi)。這一結(jié)構(gòu)帶來了質(zhì)的飛躍。 其與傳統(tǒng)石英光纖的結(jié)構(gòu)對(duì)比如下圖所示：
三、Lumatec液芯光纖在Primelite光源系統(tǒng)中的核心優(yōu)勢(shì)將Lumatec液芯光纖與Primelite ALE/1光源配對(duì)，形成了“強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合"的協(xié)同效應(yīng)，其優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面： 1. 超高功率傳輸與散熱性能優(yōu)勢(shì)：實(shí)現(xiàn)高功率、零衰減的穩(wěn)定光能傳輸。 高功率承載：液態(tài)纖芯對(duì)紫外光的吸收率極低，使得Lumatec液芯光纖能夠無損地傳輸Primelite ALE-1產(chǎn)生的30W級(jí)以上高功率紫外光，這是石英光纖難以勝任的。 散熱：液態(tài)核心的高熱容和熱傳導(dǎo)性能將工作中產(chǎn)生的熱量迅速吸收并沿軸向擴(kuò)散，避免局部過熱。這不僅保護(hù)了光源端的LED芯片免受熱反饋影響，更從根本上杜絕了光纖自身因熱效應(yīng)導(dǎo)致的暗化、老化問題，確保輸出功率數(shù)萬(wàn)小時(shí)長(zhǎng)期穩(wěn)定。 o 2. 光束質(zhì)量與均勻性優(yōu)勢(shì)：提供能量分布極度均勻的高質(zhì)量光斑。 Lumatec液芯光纖的輸出光斑具有佳的“頂部平坦度"（Top-Hat Profile），能量分布非常均勻，無干涉條紋或中心熱點(diǎn)。 這對(duì)于半導(dǎo)體制造至關(guān)重要。在晶圓邊緣曝光（WEE） 中，它確保了邊緣光刻膠的去除均勻一致，無殘留；在掩模檢測(cè)中，它為整個(gè)視場(chǎng)提供了均勻照明，消除了因照明不均導(dǎo)致的誤判或漏檢，顯著提升檢測(cè)精度和良率。
3. 操作靈活性與系統(tǒng)集成便利性· 優(yōu)勢(shì)：為設(shè)備布局提供極大的設(shè)計(jì)自由度。 Lumatec液芯光纖非常柔韌，其最小彎曲半徑可達(dá)光纖外徑的5倍以下（例如，外徑4mm的光纖，最小彎曲半徑可小于20mm）。 這一特性使得它能夠輕松適應(yīng)半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)部緊湊復(fù)雜的空間布局，布線靈活自如，極大地簡(jiǎn)化了系統(tǒng)集成難度。同時(shí)，其優(yōu)異的抗彎曲性能也降低了在安裝和使用中因彎折而損壞的風(fēng)險(xiǎn)。 o 4. 超凡的可靠性與低總體擁有成本（TCO）· 優(yōu)勢(shì)：顯著降低維護(hù)成本，提升設(shè)備綜合效益。 由于解決了紫外暗化問題，Lumatec液芯光纖的使用壽命極長(zhǎng)，其透光率在整個(gè)生命周期內(nèi)保持高度穩(wěn)定。 這意味著終端用戶無需再像使用石英光纖那樣定期更換光纖部件，大幅減少了維護(hù)次數(shù)、耗材成本和設(shè)備停機(jī)時(shí)間，從而有效降低了設(shè)備的總體擁有成本（TCO），提升了生產(chǎn)效率和投資回報(bào)率。 o 結(jié)論在半導(dǎo)體制造不斷向著更小節(jié)點(diǎn)、更高密度和更先進(jìn)封裝發(fā)展的道路上，每一個(gè)技術(shù)細(xì)節(jié)的優(yōu)化都意義重大。Lumatec液芯光纖與Primelite ALE/1高性能UV-LED光源的組合，遠(yuǎn)非簡(jiǎn)單的部件搭配，而是一次系統(tǒng)級(jí)的性能躍遷。 Lumatec液芯光纖憑借其超高紫外傳輸效率、散熱性能、頂級(jí)的出光均勻性和柔性，解決了高功率紫外光傳輸中的傳統(tǒng)痛點(diǎn)，成功地將Primelite光源的優(yōu)異特性無損地傳遞至工藝端，成為了真正意義上的 “高可靠性能量通道" 。 對(duì)于設(shè)備制造商（OEM）而言，選擇這一組合意味著獲得了經(jīng)過驗(yàn)證的、即插即用的解決方案，能快速開發(fā)出具備競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)的設(shè)備。對(duì)于終端晶圓廠和封裝廠而言，則意味著獲得了更高的工藝一致性、更低的廢品率和更穩(wěn)定可靠的生產(chǎn)保障，為其提升良率、降低成本、決勝未來提供了堅(jiān)實(shí)的技術(shù)基礎(chǔ)。
|
赫爾納貿(mào)易（大連）有限公司 版權(quán)所有 管理登陸 ICP備案號(hào)：遼ICP備14000236號(hào)-11 網(wǎng)站地圖 技術(shù)支持：智能制造網(wǎng) |
18804209403
首 頁(yè)