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| 加熱式電容膜片真空計SKY@CDG160D/CDG200D | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 點擊次數：1167 更新時間：2024-11-19 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
加熱式電容膜片真空計 SKY@CDG160D/CDG200D
INFICON SKY CDG160D和CDG200D 高溫壓力計是實現 精確總壓測量與控制的理想之選。CDG160D 和CDG200D 真空計溫度分別控制在160°℃和200℃,具有的性
能，適用于苛刻的半導體和等離子過程。在1托至1000托 滿刻度范圍內均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現場 總線接口，能夠提供0至10伏、不受氣體類型限制的線性 壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔 膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩定性更佳、從 大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優 勢 。INFICON CDG壓力傳感器品質本效 益，適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。
優勢 ·擁有成本更低，預熱速度快50%,節能，低功耗 ·易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標配兩個設定點 ·輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點偏移 ·診斷端口用于快速維修和維護 ·兩年保修服務， HT 加熱概念和真空計保護延長了使用壽 命 的信號穩定性和可重復性，即使是最嚴苛的等離子 應用，都無需長期執行重新校準 ·合規和標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS 應用范圍 ·蝕刻、CVD、PVD及其他半導體生產過程 ·化學和腐蝕性高溫過程 ·需要真空計保護的一般薄膜和真空過程
SKY@CDG160D/CDG200D
1) 優化的壓力控制信號濾波器設置 2) 不能使用現場總線接口
粗體=標準產品 其他法蘭類型可按要求提供。
SKY@CDG160D/CDG200D
規格(以托為單位的標準產品)
1)在25°℃環境運行溫度下表現為非線性、滯后、再現性，運行兩小時后無溫度效應 2) 環境溫度>40℃,可能會使表面溫度高于SEMIS2 合規水平—標記“小心燙傷!" 3)增加10.…90% FS 4)18%Cr、10%Ni、3%Mo、69%Fe
SKY@CDG160D/CDG200D
SKY@CDG160D/CDG200D
DEVICENET規格
PROFIBUS Profibus D規格 DP
SKY@CDG160D/CDG200D
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